半导体测试失效分析简介
半导体测试失效分析(Failure Analysis,简称FA)是指在半导体器件或系统出现故障后,通过各种分析方法和工具,对其故障原因进行诊断与追溯的过程。随着半导体技术的不断进步,器件的微型化、复杂化使得其测试和失效分析变得更加困难。在半导体的生产、研发、质量控制等环节中,进行失效分析不仅能够帮助工程师了解故障根源,避免类似问题的再度发生,也有助于提升产品质量、延长产品寿命及减少返修成本。
在半导体的测试失效分析中,涉及的内容包括物理损伤、材料劣化、设计缺陷、环境影响等因素。分析过程通常包括故障的重现、物理分析、电子显微镜分析、电气性能测试、断层扫描(X-ray)等技术的应用。通过这些高精度手段,测试工程师可以识别芯片内部的短路、开路、焊接缺陷、电气性能不稳定等问题,从而找出产品失败的根本原因。
相关国家标准与国外标准
国内标准
在中国,半导体测试失效分析的标准主要由中国电子标准化研究院(CESI)及相关机构发布,涵盖了半导体器件的测试方法和失效分析技术。常见的标准有:
- 《电子元器件失效分析技术规范》(GB/T 25136-2010):该标准提供了关于半导体元器件失效分析的基本技术规范和操作流程。
- 《半导体集成电路失效分析方法》(GB/T 16976-2007):该标准专注于集成电路的失效分析方法,涵盖了从视觉检查到高精度成像技术的应用。
- 《电子元器件可靠性评估与失效分析方法》(GB/T 2828-2017):这一标准提出了半导体元器件在可靠性测试中的常见失效模式与分析方法。

国外标准
国外在半导体测试失效分析方面的标准也非常完备,主要由国际标准化组织(ISO)以及各大电子与半导体技术协会(如JEDEC、IPC等)制定。常见的国际标准有:
- ISO 9001:2015:这一标准是质量管理体系的标准,要求对产品的各项性能进行详细测试,并进行失效分析。
- JEDEC JESD22-A104:这是JEDEC发布的一个标准,专门用于半导体封装失效分析,主要涉及在不同环境条件下的失效模式和失效分析技术。
- IPC-9701:该标准提供了关于半导体封装与组装可靠性测试的详细指导,并讨论了失效分析的实际应用。
半导体测试失效分析的服务流程
半导体测试失效分析的流程通常分为以下几个主要阶段:
1. 故障确认与样品收集
在失效分析开始之前,首先需要确认出现故障的半导体元器件或设备的具体问题。通过客户提供的故障报告、现场测试和故障描述,确定失效的设备样品。此时,要确保样品的完整性,并标注出相关信息,例如型号、生产批号、工作环境等。
2. 初步故障分析与重现
收集到样品后,测试团队会进行初步的电气测试、热测试和环境测试等,看看是否能够重现故障。此阶段的目的是确认故障发生的模式,如死机、信号丢失、电流异常等,并判断是否与特定的环境或操作条件相关。
3. 高精度分析与故障定位
当初步分析完成后,进入高精度失效分析阶段。通常会使用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、X-ray断层扫描技术、红外热成像、自动光学检查(AOI)等工具,进行物理损伤、微观结构、材料分布、焊接质量等方面的详细分析。
4. 原因分析与解决方案建议
通过以上分析,测试团队会确定造成失效的根本原因,可能是设计缺陷、材料劣化、生产过程中的不良工艺等因素。最终,失效分析报告将总结问题的原因,并给出相应的改进建议或解决方案,帮助客户优化产品设计与生产工艺。
5. 报告与技术支持
失效分析完成后,客户将收到一份详细的报告,报告中包括了分析过程、测试数据、显微图像、失效模式与原因、建议的解决方案等内容。测试机构还会提供后续的技术支持,协助客户进行产品改进和解决方案的实施。
检测或认证项目介绍
半导体测试失效分析不仅限于常规的失效诊断,还包括多个检测和认证项目,涉及产品的不同方面。
1. 可靠性测试
可靠性测试是对半导体产品进行长时间、高负载、高温等条件下的测试,以模拟其在实际应用中的表现。这类测试主要包括温度循环测试、湿度测试、加速寿命测试等,旨在评估产品在极端条件下的耐用性与可靠性。
2. 电气性能测试
电气性能测试通过测量半导体产品的电流、电压、功率等参数,判断其是否符合设计要求。测试过程中可能会对产品进行模拟的工作环境测试,检查其电气性能是否存在异常,如电流过大、信号失真等问题。
3. 外观和物理检查
外观和物理检查主要对产品表面进行检查,寻找可能存在的物理缺陷,如裂纹、焊接缺陷、气泡等。通过显微镜检查、X-ray等手段,可以对半导体器件进行更精细的分析。
4. 环境适应性测试
环境适应性测试包括温度、湿度、电磁干扰等环境因素对半导体产品性能的影响。这些测试有助于验证产品在特定环境条件下的稳定性与可靠性。
相关费用

- 样品处理费用:包括样品的接收、清洗、准备等初步处理费用。
- 测试与分析费用:根据分析的具体方法,费用会有所不同。例如,使用扫描电子显微镜(SEM)或X-ray断层扫描技术进行高精度分析时,费用会相对较高。
- 报告与技术支持费用:失效分析报告的编写以及后续的技术支持服务可能涉及额外的费用。
- 加急服务费用:对于需要加急处理的项目,通常会额外收取一定的加急费用。
总体而言,半导体测试失效分析的费用根据项目的复杂程度和所选技术工具有所不同,具体报价需根据实际需求和测试服务提供商的定价进行确认。